Frank Rohmund認為,中國在尖端晶片晶片製造設備的研發方面落後,仍需要15年才能研發出EUV光刻機。(蔡司官網圖片)
德國光學公司蔡司(Zeiss)半導體部門負責人Frank Rohmund認為,中國在尖端晶片晶片製造設備的研發方面落後,仍需要15年才能研發出極紫外(EUV)光刻機,形容15年研發出EUV是「合理的假設」(reasonable assumption)。他亦指,中國的進步很難量化。
Frank Rohmund在彭博電視台表示,北京方面數十年來一直在研發這類技術,對於近期中國取得技術進展時,並不感到意外,強調現在需要觀察這些設備的實際能力,又直言「我們仍然遙遙領先」(We are still way ahead)。
早前,有瑞銀分析師在本周指,中國距離開發出國產EUV技術或至少還有10年。
蔡司是艾斯摩爾(ASML)EUV設備所使用光學系統的獨家供應商,同時為因應AI熱潮帶動的晶片需求,蔡司也已擴建位於德國上科亨(Oberkochen)的總部,以增加生產設施及產能,以及正在另一處地點興建新工廠。
7月時The Information報道指,上海一間國企已開始生產自主研發的浸沒式深紫外(DUV)光刻機,計劃今年生產約5部,向中芯國際(981)、華虹半導體(1347),以及長鑫科技等內地公司交付,而明年產量的目標增至約20部。路透其後報道,相關企業為上海愛晟納電子科技集團,目前國產DUV光刻機仍處於測試及驗證階段,各方面性能與ASML光刻機仍存明顯差距。

















